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BOE
英語名:Buffered Oxide Etchant、BOEはHFとNH4Fが異なる割合で混合して作れる。HFは主なエッチング液であり、NH4Fは緩衝材として使われている。NH4F固定〔H+〕の濃度を利用して、一定のエッチング率を保つ。HFはガラス及び如何なるシリコン含有の物質を侵食することもできる上に、肌にも強い腐食性があり、万が一撥ねられたら、大量な水で洗い流すこと。
製品名 |
バッファ酸化物エッチング液 |
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製品規格 |
G1-G4 |
CAS NO. |
フッ化水素酸 7664-39-3 |
包装形式 |
4L/20L/200L/1000L/13000L/20000L |
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PH值 |
6.5-7 |
分子式 |
HF&NH4F |
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