电子级三氟甲烷是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一,尤其是对二氧化硅膜的刻蚀,具有刻蚀速度快,选择性好的优点。
产品名称
高纯三氟甲烷
产品规格
5N
CAS NO.
75-46-7
包装形式
47L
分子量
70.01
分子式
CHF3