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电子特种气体
产品名称
规格
应用领域
集成电路
显示面板
光伏
光纤
12英寸
8英寸
≤ 6英寸
高纯氯气(Cl2)
6N
*
*
*
*
*
高纯氯化氢(HCl)
6N
*
*
*
*
高纯氟化氢(HF)
5N
*
*
高纯六氟化钨(WF6)
5N5
*
*
*
高纯一氟甲烷(CH3F)
5N
*
*
*
高纯三氟甲烷(CHF3)
5N
*
*
*
高纯八氟环丁烷(C4F8)
5N
*
*
*
高纯六氟丁二烯(C4F6)
4N5
*
*
*
高纯八氟环戊烯(C5F8)
4N
*
*
*
(注: “*”表示产品的应用领域。)
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