7月17日上午，浙江省科学技术奖励大会在省人民大会堂举行。省委书记、省人大常委会主任车俊，省委副书记、省长袁家军等领导出席大会。中巨芯科技有限公司旗下全资子公司浙江凯圣氟化学有限公司（以下简称“凯圣公司”）申报的《芯片先进制程用超纯湿电子化学品精密分离和品控关键技术及产业化》荣获浙江省科学技术进步奖二等奖。

       电子湿化学品主要应用于芯片制造、平板显示制造等微电子器件制造领域。凯圣公司项目实施前，国内电子湿化学品关键技术主要被欧美、日韩、台湾等国家和地区所掌握，产品基本依赖进口。凯圣公司项目经过近十年的技术攻关，攻克了行业共性技术难题，获得发明专利8件、牵头制订国家标准和行业标准2项；公司电子湿化学品突破12吋14nm制程，产品质量达到国际同类先进水平，填补国内空白，成功应用于全球主流集成电路制造商，并出口韩国、日本、马来西亚、台湾等国家和地区。

       凯圣公司目前拥有的电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸、电子级盐酸、电子级氨水、缓冲氧化蚀刻液、poly蚀刻液以及电子级氟化铵均已达到12吋集成电路制造用级别。凭借丰富的产品组合和优良的产品品质，已实现批量供应国内外知名集成电路制造企业。2019年更是抓住了日韩贸易摩擦的机遇，迅速行动，积极与韩国半导体企业接触，接受稽核、送样测试，并成为其合格供应商。

       凯圣公司是国家首 家为12吋28nm制程批量供应电子级硫酸的企业；是首 家为逻辑电路和存储器制造批量供应电子级硝酸的企业；是国内首 家稳定放量供应12吋集成电路制造用氢氟酸并向国际主流存储器公司直接批量供应电子级氢氟酸的国内企业，同时也是国内电子级氢氟酸出口量居首的企业，成为国内仅有的系列化供应12吋集成电路制造用电子湿化学品的企业。

       至今年年底，凯圣公司电子级氢氟酸、电子级硫酸和电子级硝酸等产品将实现产能翻番。后续凯圣公司将根据客户需求，进一步通过提质扩产，夯实在国内电子湿化学品领域的龙头地位。

       展望未来，凯圣公司将立足于母公司中巨芯科技有限公司的宏大产业规划，持续推进电子湿化学品产品系列化、高端化、组合化，以实现产业的高质量发展。