中巨芯科技股份有限公司--高纯二氧化碳（CO2）

英文名称：Carbon dioxide
纯度等级：5N
包装规格：40L钢瓶

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主要应用：半导体晶圆制造的清洗和蚀刻工艺

高纯二氧化碳在半导体中是一种多功能的工艺气体和超临界流体，广泛应用在超临界清洗、干法刻蚀工艺、晶圆冷却与热管理，及沉积工艺创新和先进封装等工艺，成为半导体可持续制造的核心介质。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

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