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半导体显示制造

电子级磷酸(H3PO4)

英文名称:Phosphoric Acid
纯度等级:Semi G3
包装规格:500ml瓶、4L瓶、200L桶、ISO罐式集装箱
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的清洗、蚀刻工艺
电子级磷酸是半导体显示制造中是一种关键的湿电子化学品,主要用于铝电极图形化刻蚀中TFT阵列栅极刻蚀和钼/铜复合电极处理中钼蚀刻停止层处理和铜布线表面处理,以及玻璃基板加工中钠钙玻璃表面活化等用途。本产品具有超高纯度、低颗粒物、浓度可控精度高等优点,可满足客户的多种包装要求。
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