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硅/化合物衬底片制造

高纯三氯氢硅(TCS)

英文名称:Trichlorosilane
纯度等级:5N
包装规格:900L钢瓶、管束车
业务咨询
详细介绍
主要应用:硅/化合物衬底片制造的硅基原材料
高纯三氯氢硅是半导体产业链上游的核心材料,主要用于高纯多晶硅制备和外延生长工艺,其高纯特性直接影响芯片性能。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装的要求。

 

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