半导体显示制造的蚀刻工艺
高纯六氟乙烷作为高性能含氟电子气体，在半导体显示制造中主要作为干法刻蚀气体和化学气相沉积腔体清洗剂使用，优异的刻蚀性能使其成为高精度显示面板制造的关键材料。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。
