半导体显示制造的成膜工艺
高纯硅烷是半导体显示制造中核心的特种气体，在TFT阵列制造中非晶硅沟道层沉积、氮化硅绝缘层、低温多晶硅工艺和OLED显示制造中薄膜封装等关键工艺中发挥不可替代的作用。本产品具有超高纯度、低颗粒物、浓度可控精度高等优点，可满足客户的多种包装要求。
