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定制化研发

Co蚀刻后清洗液

英文名称:Co PERR
业务咨询
详细介绍
主要应用:金属Co线互连,蚀刻后清洗液
Co蚀刻后清洗液用于去除Co制程中蚀刻工艺后残留的反应副产物、颗粒污染物、金属离子等,具有损伤低和材料兼容性良好等特点。

 

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