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La、稀有金属等金属前驱体

La、稀有金属等金属前驱体

英文名称:La&rare metal precursors
业务咨询
详细介绍
主要应用:Hi-k材料
La、稀有金属等金属有机前驱体,在半导体先进制程中主要用于高介电常数材料和金属薄膜的原子层沉积与化学气相沉积工艺中应用。
下一页:无

 

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