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替代性研发

Al蚀刻后清洗液

英文名称:Al PERR
业务咨询
详细介绍
主要应用:Al互连蚀刻后清洗
Al蚀刻后清洗液用于去除Al制程中蚀刻工艺后残留的反应副产物、颗粒污染物、金属离子等,具有高清洁度、低损伤和材料兼容性良好等特点。

 

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