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替代性研发

Cu蚀刻后清洗液

英文名称:Cu PERR
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详细介绍
主要应用:Cu互连蚀刻后清洗
Cu蚀刻后清洗液用于去除Cu制程中蚀刻工艺后残留的反应副产物、颗粒污染物、金属离子等,具有损伤低和材料兼容性良好等特点。
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